実績紹介
未来ICT研究所クリーンルーム棟
北東側外観
北側外観
成膜室
有機成膜室
北東側外観
北側外観
成膜室
有機成膜室
清浄度クラス100及び1000のファインプロセス用クリーンルームを備え、革新的デバイス技術を産み出すための最先端ICT技術の研究・開発を行う施設です。
| 所在地 | 兵庫県神戸市 |
|---|---|
| 発注 |
国立研究開発法人 情報通信研究機構 |
| 設計・監理 |
株式会社内藤建築事務所 |
| 構造・規模 |
S造、地上1階 |
| 竣工年月 |
2015年7月 |